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发明名称 TIN OXIDE-MAGNESIUM OXIDE SPUTTERING TARGET AND TRANSPARENT SEMICONDUCTOR FILM
摘要 <p>Disclosed is a target which is composed of a sintered body of an oxide mainly containing Sn and Mg and containing SnMg2O4.</p>
申请公布号 WO2009081677(A1) 申请公布日期 2009.07.02
申请号 WO2008JP71210 申请日期 2008.11.21
申请人 IDEMITSU KOSAN CO., LTD.;INOUE, KAZUYOSHI;SHIMANE, YUKIO 发明人 INOUE, KAZUYOSHI;SHIMANE, YUKIO
分类号 C23C14/34;C04B35/04;C23C14/08;H01L21/363;H01L29/26;H01L29/786 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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