ARRANGEMENT FOR A DIAPHRAGM PRESSURE-MEASURING CELL

摘要

Eine Membrandruckmesszellenanordnung enthält einen Gehäusekörper (2) mindestens teilweise aus Saphir und eine Saphir - Membrane (6) mit einem peripheren Randbereich, welcher mit einer ersten Dichtung (8) mit dem Gehäusekörper (2) verbunden ist, um eine Referenzvakuumkammer (5) zu bilden. Eine äussere Oberfläche der Membrane (6) ist gegenüber einem zu messenden Medium ausgesetzt. Ein keramischer Trägerkörper (1) ist an der Rückseite des Gehäusekörpers (2) mit Glaslot angeordnet, und dieser weist eine überhängende Fläche auf welche den Gehäusekörper (2) umschliesst und bildet eine erste Dichtfläche. Ein rohrförmiges Messzellengehäuse (19) nimmt die Messzelle auf montiert am keramischen Trägerkörper (2), wobei das Messzellengehäuse (19) innerhalb eine umschliessende Dichtfläche (35) aufweist, die mit der ersten Dichtfläche korrespondiert. Zwischen den Dichtflächen ist eine Metallringdichtung (18) angeordnet, wobei Andruckmittel (20) vorgesehen sind zum zusammenpressen der Dichtflächen.