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Ein Verfahren zum Ätzen eines Bauelements umfasst bei einer Ausführungsform ein Bereitstellen eines Siliziumcarbidsubstrats, ein Ausbilden einer Siliziumnitridschicht auf einer Oberfläche des Siliziumcarbidsubstrats, ein Ausbilden einer Siliziumcarbidschicht auf einer Oberfläche der Siliziumnitridschicht, ein Ausbilden einer Siliziumoxidschicht auf einer Oberfläche der Siliziumcarbidschicht, ein Ausbilden einer Fotolackmaske auf einer Oberfläche der Siliziumdioxidschicht, und ein Ätzen der Siliziumdioxidschicht durch die Fotolackmaske.
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