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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF A MOUNTING TABLE, A PROGRAM THEREFOR, AND A PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME
摘要
申请公布号
KR100905897(B1)
申请公布日期
2009.07.02
申请号
KR20060028274
申请日期
2006.03.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/683;H01L21/687
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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