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发明名称 ACTIVATED CARBON SELECTIVE EPITAXIAL PROCESS
摘要
申请公布号 KR100905807(B1) 申请公布日期 2009.07.02
申请号 KR20077022290 申请日期 2007.09.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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