| 摘要 |
本发明是有关于一种带有能够在照明光瞳面上任选地形成多级光强度分布的结构的照明装置。使用基于光源之光而形成在照明光瞳面上的光强度分布作为光源，照明装置在照明目标表面上实施柯勒照明。照明装置具有空间光调变器、聚光系统以及控制单元。空间光调变器具有多个反射表面，此多个反射表面二维地设置并且其姿态可相互独立地控制。聚光系统汇聚来自反射表面的光，以在照明光瞳面上形成预定的光强度分布。根据待形成在照明光瞳面上光强度分布，对于形成光强度分布的照明光瞳面上的点中之每一者，控制单元控制对于所到达的光有贡献的反射表面的数量。 |
