发明名称 太阳能晶圆移转装置
摘要
申请公布号 TWM360446 申请公布日期 2009.07.01
申请号 TW098201203 申请日期 2009.01.22
申请人 致茂电子股份有限公司 CHROMA ATE INC. 桃园县龟山乡华亚科技园区华亚一路66号 发明人 林汉声
分类号 H01L21/677 (2006.01) 主分类号 H01L21/677 (2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种太阳能晶圆移转装置,系供将太阳能晶圆移转进出一个形成有侧向出入口之晶圆片匣,且该晶圆片匣对应该侧向出入口之两侧壁上形成有复数凸缘,该等凸缘中之最下一个与该出入口底部间形成有一个间距,该移转装置包含至少两组彼此以小于该等太阳能晶圆尺寸相间隔之驱动机构,且该至少两组驱动机构分别包括:一组承载件;一个远离该晶圆片匣、供驱动该承载件沿着一个方向旋转之远端驱动件;及一个对应于该晶圆片匣、并具有一个小于其半径之厚度、且当被伸入该对应晶圆片匣时可沿着一个与水平面夹一个倾斜角度的旋转轴旋转而驱动该承载件沿着上述方向旋转、藉此使其与该承载件共同伸入该晶圆片匣时所占用高度小于其直径之扁形驱动件。2.如申请专利范围第1项所述之移转装置,更包含一组供改变该扁形驱动件旋转轴倾斜角度之角度调整件。3.如申请专利范围第1项所述之移转装置,其中该承载件包括一条传动皮带。4.如申请专利范围第1项所述之移转装置,其中该承载件包括一条导引皮带及复数受该导引皮带致动而同步旋转之承载轮。5.如申请专利范围第1、2、3或4项所述之移转装置,其中该扁形驱动件系一个厚度远小于其直径之皮带轮。6.如申请专利范围第5项所述之移转装置,其中该远端驱动件系一个厚度大于该扁形驱动件之皮带轮。7.一种太阳能晶圆移转装置,系供在一个形成有一个顶端汲放口之晶圆片盒与一个形成有侧向出入口之晶圆片匣间移转太阳能晶圆,且该晶圆片匣对应该侧向出入口之两侧壁上形成有复数凸缘,该等凸缘中之最下一个与该出入口底部间形成有一个间距,该移转装置包含至少两组彼此以小于该等太阳能晶圆尺寸相间隔之驱动机构,且该至少两组驱动机构分别包括:一组承载件;一个对应于该晶圆片盒、供驱动该承载件沿着一个方向旋转之远端驱动件;及一个对应于该晶圆片匣、并具有一个小于其半径之厚度、且当被伸入该对应晶圆片匣时可沿着一个与水平面夹一个倾斜角度的旋转轴旋转而驱动该承载件沿着上述方向旋转、藉此使其与该承载件共同伸入该晶圆片匣时所占用高度小于其直径之扁形驱动件。图式简单说明:图1为习知皮带轮组进行晶圆输送动作及外观测试之侧视示意图;图2为晶圆夹进行晶圆输入晶圆片匣动作的之侧视示意图;图3为习知皮带轮组进行晶圆输入晶圆片匣动作的之正视示意图;图4为承载晶圆的晶圆片盒示意图;图5由晶圆片盒中汲取晶圆之动作示意图;图6为本创作第一实施例,太阳能晶圆移转装置之立体示意图;图7为本创作第一实施例,分类机台中,晶圆片匣承接分流容置太阳能晶圆的俯视示意图。图8为本创作第一实施例,晶圆由晶圆片匣侧向出入口进出之正视示意图;图9为本创作第一实施例,改变扁形驱动件旋转轴倾斜角度的部份单元运作示意图;图10为本创作第一实施例,改变扁形驱动件倾斜角度后,晶圆由晶圆片匣侧向出入口进出示意图;图11为本创作第一实施例,再度改变扁形驱动件之倾斜角度,晶圆由晶圆片匣侧向出入口进出示意图;图12为本创作第二实施例,太阳能晶圆移转装置的俯视示意图。图13为本创作第三实施例的承载件侧视示意图。
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