发明名称 黏晶装置之工作手臂
摘要 一种黏晶装置之工作手臂,包括:一第一轴、一第二轴及一第三轴依序枢接,且每一轴以其枢接点为支点旋转,且三轴的旋转平面系为非共平面关系,藉由三轴的活动,工作手臂之取放装置可在封装基板与晶圆均不动的前提下,完成黏结晶片于整片封装基板的动作,具有减少等待时间的优点。
申请公布号 TW200929393 申请公布日期 2009.07.01
申请号 TW096150817 申请日期 2007.12.28
申请人 力成科技股份有限公司 发明人 方立志;林柏村
分类号 H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L21/56(2006.01)
代理机构 代理人 蔡朝安
主权项
地址 新竹县湖口乡新竹工业区大同路26号