发明名称 |
硷溶性树脂与包含其之负型光敏树脂组成物 |
摘要 |
本发明系提供一种硷溶性树脂,此硷溶性树脂使用多官能硫醇化合物做为链转移剂进行制备。此硷溶性树脂的黏性低于具有相同分子量的树脂。本发明更提供一种含此硷溶性树脂做为黏结树脂之负型感光树脂组成物。使用此硷溶性树脂可降低感光树脂组成物整体黏性,在使用少量感光树脂组成物的情况下,有效降低光阻图案阶段部份的高度。 |
申请公布号 |
TW200927814 |
申请公布日期 |
2009.07.01 |
申请号 |
TW097139888 |
申请日期 |
2008.10.17 |
申请人 |
LG化学公司 |
发明人 |
金韩修;金星炫;朴光汉;林敏映;许闰姬;刘志钦;金善花 |
分类号 |
C08L101/08(2006.01);C08K5/37(2006.01);G03F7/038(2006.01) |
主分类号 |
C08L101/08(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
吴冠赐;杨庆隆;苏建太 |
主权项 |
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地址 |
南韩 |