| 发明名称 | 改进的用于静电晶片夹紧装置的压盘 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种用于静电的晶片夹紧装置(10)的压盘(12)，包括：一介电材料的压盘体(12)；以及扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，由于导电颗粒的扩散使压盘(12)具有这样一种静电电容，即，不管周围湿度如何，使压盘(12)的夹紧力增加。根据本发明的另一方面，压盘(12)的厚度被减小一定量，以致在由电压源(28)施加的电压值减小时足以保持夹紧力不变，以及消除在压盘上任何残余的电压和增加晶片(38)释放的速度。 | ||
| 申请公布号 | CN100508355C | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
| 申请号 | CN03815047.6 | 申请日期 | 2003.04.30 |
| 申请人 | 特瑞克股份有限公司 | 发明人 | H·亚那吉答;H·马初巴拉;Y·奥库哈拉;S·奥基;N·卡瓦斯马;B·T·维廉姆斯;T·油哈拉 |
| 分类号 | H02N13/00(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | H02N13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 茅翊忞 |
| 主权项 | 1. 一种用于静电的晶片夹紧装置的压盘，包括：一介电材料的压盘体；以及扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，其含量为压盘体的体积的2.5％至15.0％。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||