发明名称 静电消除器及置于其中的放电电极单元
摘要 本发明公开一种静电消除器及置于其中的放电电极单元。该静电消除器能够削弱放电电极和接地电极之间的电场,以便在该放电电极和工件之间产生强电场,其中,第一级周向腔室、第二级周向腔室和第一气池沿着放电电极的纵向串联排列;第一气池布置成与位于第一气池的内周侧的保护用气体流出通道沿直径方向重叠;并且气体借助于沿周向隔开的多级小孔(第一槽沟和第二槽沟)通过以多级布置的腔室供给到第一气池;呈板状的接地电极板部件嵌入半个底座的底面侧的绝缘树脂部件中并处于与第一气池所处位置一样高的位置,并且接地电极板部件包括与放电电极同心的圆环部分。
申请公布号 CN101472377A 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200810189225.0 申请日期 2008.12.26
申请人 株式会社其恩斯 发明人 深井浩司;今高哲平
分类号 H05F3/00(2006.01)I;H05F3/02(2006.01)I;H05F3/04(2006.01)I;H01T19/04(2006.01)I 主分类号 H05F3/00(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 顾红霞;彭 会
主权项 1. 一种静电消除器,其具有放电电极和接地电极,所述放电电极在长的壳体中布置为彼此沿纵向隔开,所述接地电极安装在所述放电电极周围,并且所述静电消除器将高电压施加在所述放电电极上以产生离子,其中,所述接地电极由沿着所述静电消除器的纵向延伸的电极部件构成,所述接地电极部件包括包围所述各个放电电极的环状部分,并且所述环状部分嵌入绝缘合成树脂材料中,所述绝缘合成树脂材料构成布置有所述静电消除器的所述放电电极的底面部分。
地址 日本大阪府