电化学加工方法及其电化学加工装置

摘要

本发明系有关一种电化学加工方法及其电化学加工装置，其系将一加工件及一电解液置于该容槽内，使该电解液覆及该加工件，并以电源供应装置供应加工电极部与该加工件所需之电源，该加工位移模组依据该加工件所欲形成之至少一加工结构而驱动该加工电极相对该加工件或驱动该加工件相对该加工电极沿着一位移迹线移动，并以该加工电极之一电极部对该加工件进行电化学加工，再以一调变模组来控制该电极部对于该加工件的至少一加工速率因子，其中，该加工速率因子系选自该加工位移模组的位移速度及该电源供应装置所供应电源之电流的其中一种，藉由调变该加工位移模组的位移速度大小，或该电源供应装置所供应之电流大小，进而控制该加工结构的宽度及深度者。