制造反向Ｔ型浮动闸极记忆体之方法

摘要

本发明系揭露一种具有非矩型横截面浮动闸极之记忆装置。该非矩型横截面可为一反向T型、一U型、一梯型或一双反向T型。本发明亦揭露用来制造一浮动闸极记忆装置之方法，因为增加该浮动闸极表面积，而使该浮动闸极记忆装置具有一较高的耦合率。该记忆装置具有一横截面形状之浮动闸极，像是一反向T型，如此使得具有一顶轮廓为一非平坦的区段。