晶圆转移装置

摘要

本发明之晶圆转移装置系用以将第一晶舟中的晶圆转移至第二晶舟，其中第一晶舟以及第二晶舟具有一预先设定之相对位置，晶圆转移包括一埠、一推动装置与复数个推杆，这些推杆可用于选择性推动部分晶圆。另可增设至少一防呆装置，当晶舟未被放置于预先设定之位置时，防呆装置会限制晶圆的转移。