发明名称 应用奈米银柱制作图形之光罩
摘要 本发明系一种应用奈米银柱制作图形之光罩,特别系指一种具产生比可见光波长还小之图形的光罩,该光罩具有一基板,该基板为光可穿透的材料所制成,本发明之光罩系利用直径约20奈米、高度约40奈米的奈米银柱在基板中排成阵列,且相邻之奈米银柱的距间在50奈米以下,当雷射光照射在奈米银柱阵列时,奈米银柱表面会产生表面电浆,由于奈米银柱间的间距够小,因此奈米银柱间会有表面电浆偶合发生,且进一步透过奈米银柱的排列可以控制表面电浆偶合的位置,进而产生所需的影像,而克服可见光的绕射极限,达到利用可见光即可产生比波长还小的图形之功效。
申请公布号 TW200928576 申请公布日期 2009.07.01
申请号 TW096151276 申请日期 2007.12.31
申请人 远东科技大学 发明人 陈圣钟;蔡定平
分类号 G03F1/08(2006.01) 主分类号 G03F1/08(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 台南县新市乡中华路49号
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