固态成像装置、其制造方法及成像设备

摘要

一种具有光电转换入射光的光接收部的固态成像装置，包括：在光接收部的光接收面上形成的绝缘膜；及在绝缘膜上形成的具有负固定电荷的膜。在光接收部的光接收面侧形成空穴聚集层。在光接收部的一侧设置形成了外围电路的外围电路部。绝缘膜在外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间形成，使得外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间的距离大于光接收部的表面与具有负固定电荷的膜之间的距离。

主权项

1. 一种固态成像装置，该装置具有对入射光进行光电转换的光接收部，并且包括：绝缘膜，形成在所述光接收部的光接收面上；以及具有负固定电荷的膜，形成在所述绝缘膜上，其中在所述光接收部的光接收面侧形成空穴聚集层，在所述光接收部的一侧设置形成了外围电路的外围电路部，并且所述绝缘膜在所述外围电路部的表面与具有负固定电荷的膜之间形成，使得所述外围电路部的表面与所述具有负固定电荷的膜之间的距离大于所述光接收部的表面与所述具有负固定电荷的膜之间的距离。