| 发明名称 | 抗蚀剂剥离剂 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供剥离性优异、且没有可燃性、安全，而且不会腐蚀导电体的防腐蚀性优异的抗蚀剂剥离剂。抗蚀剂剥离剂为含有式(1)所示的化合物的构成，这里，式(1)中，R<sub>3</sub>为碳原子数1～18的烷基；R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自独立地为氢原子或可具有碳原子数1～6的醚键的烃基。 | ||
| 申请公布号 | CN101473272A | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
| 申请号 | CN200780023158.9 | 申请日期 | 2007.06.13 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | 发明人 | 白木安司;藤冈东洋臧;松尾茂 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 熊玉兰;李平英 |
| 主权项 | 1.一种抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其含有式(1)所示的化合物，<img file="A200780023158C00021.GIF" wi="666" he="489" />这里，式(1)中，R<sub>3</sub>为碳原子数1～18的烷基；R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自独立地为氢原子或可具有碳原子数1～6的醚键的烃基，可以相同也可以相互不同，还可以相互键合形成环状结构。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||