发明名称 |
控制反应性高功率脉冲磁控管溅射工艺的方法及其装置 |
摘要 |
本发明涉及反应性高功率脉冲溅射工艺的控制。提供了一种用于控制所述工艺的方法,在所述方法中测量受控参数并且基于所测量的受控参数来改变可调节参数,从而将受控参数调节至预定的设定值,其特征在于,通过放电的脉冲频率变化来改变作为可调节参数的放电功率。 |
申请公布号 |
CN101473406A |
申请公布日期 |
2009.07.01 |
申请号 |
CN200780023440.7 |
申请日期 |
2007.06.20 |
申请人 |
弗兰霍菲尔运输应用研究公司 |
发明人 |
弗洛里安·鲁斯克;福尔克尔·西特英格;贝恩德·希什卡 |
分类号 |
H01J37/34(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/34(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
吴亦华;蔡胜有 |
主权项 |
1. 一种用于控制反应性高功率脉冲溅射工艺的方法,在所述方法中测量受控参数并且基于所测量的受控参数来改变可调节参数,从而将受控参数调节到预定的设定值,所述方法的特征在于,通过在保持单个放电脉冲形式的条件下改变放电的脉冲频率来改变作为可调节参数的放电功率。 |
地址 |
德国慕尼黑 |