金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置

摘要

金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置，包括抛光头、金刚石膜具、金刚石膜、辅助加热装置，金刚石膜为球面状，抛光头为碗状、金刚石膜具有与抛光头相对设置，并有一定间隙，金刚石膜位于金刚石膜具与抛光头之间，并固定在抛光头上，金刚石膜具和抛光头分别各自安装在一电动机的动力输出轴上。本实用新型具有抛光效率高，抛光质量好、成本低等优点，而且由于抛光过程中热化学反应环境仅在金刚石膜和抛光盘接触表面间形成，抛光盘整体温度低，热变形小，抛光盘不会对金刚石膜边缘产生过蚀，既可用于平面金刚石膜抛光，又可用于曲面金刚石膜抛光，抛光过程不需要在真空抛光反应室进行，设备简单，工作可靠。

主权项

1、金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置，包括抛光头、金刚石膜具、金刚石膜、辅助加热装置，其特征在于金刚石膜为球面状，抛光头为碗状、金刚石膜具有与抛光头相对设置，并有一定间隙，金刚石膜位于金刚石膜具与抛光头之间，并固定在抛光头上，金刚石膜具和抛光头分别各自安装在一电动机的动力输出轴上。