发明名称 Particle-optical apparatus for changing trajectories of charged particles, particle-optical illumination apparatus, imaging system and process for producing structural component
摘要 <p>Cásticové optické zarízení pro zmenu trajektorií (55, 98, 99) nabitých cástic divergentního svazku (25) korpuskulárního zárení, orientovaného podél podélné osy (35), obsahuje vnitrní usporádání (37) elektrod alespon cástecne transparentní pro cástice, které alespon cástecne obklopuje podélnou osu (35) s radiálním odstupem (D) a rozkládá se podél podélné osy (35), dále vnejší usporádání (29) elektrod, které alespon cástecne obklopuje podélnou osu (35) s radiálním odstupem (d) a rozkládá se podél podélné osy (35), a konecne zdroj (47) napetí k vytvárení rozdílu potenciálu mezi vnitrním usporádáním (37) elektrod a vnejším usporádáním (29) elektrod. Zdroj (47) napetí vytvárí takový rozdíl potenciálu, že pohybová složka cástice procházející vnitrním usporádáním (37) elektrod, která je orientována kolmo k podélné ose (35), se muže obrátit. Dále je navrženo cásticové optické osvetlovací zarízení a projekcní systém, jakož i zpusob výroby konstrukcní soucástky, který zahrnuje alespon jednu fotolitografickou operaci.</p>
申请公布号 CZ300612(B6) 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CZ20020001178 申请日期 2002.04.04
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 KIENZLE OLIVER
分类号 G03F7/20;H01J23/02;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址