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发明名称
摘要
申请公布号 JP4289641(B2) 申请公布日期 2009.07.01
申请号 JP20000149036 申请日期 2000.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/822;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/43;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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