微机电电容式感测电路

摘要

本发明系揭露一种微机电电容式感测电路，其系在一全差动式放大器之二输入端分别连接有电容值相当之一微机电电容式感测元件与一匹配电容，且微机电电容式感测元件与匹配电容皆连接至一偏压端，并利用二电阻分别将微机电电容式感测元件及匹配电容偏压至接地端（零伏特）。此电路系可在不使用外接电容的情况下，有效消除偏压杂讯对电路本身的影响；更可将所有元件利用半导体制程，同时设计在一个积体电路（IC）之中。