| 发明名称 |
机台装置组装方法 |
| 摘要 |
系提供一种于正式设置场所之组装精度较高，且容易进行业之组装方法。于暂时设置场所将设置于副载置台(20a~20d)之副底座板(21)对设置于主载置台(10)之主底座板(11)进行对位，于执行了保存该状态后，使主载置台(10)与副载置台(20a~20d)分离并搬运至正式设置场所，并使定位状态复原。由于可在暂时设置场所进行对位作业，所以可减少于正式设置场所之作业。此外，由于可在正式设置场所进行微细调整，所以可提高对位精度。 |
| 申请公布号 |
TW200927362 |
申请公布日期 |
2009.07.01 |
| 申请号 |
TW097132914 |
申请日期 |
2008.08.28 |
| 申请人 |
爱发科股份有限公司 |
发明人 |
田中保三;汤山纯平;矢作充;南展史;高桥诚;伊藤慎也 |
| 分类号 |
B23Q1/01(2006.01);H01L21/68(2006.01) |
主分类号 |
B23Q1/01(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
