图像传感器及其制造方法

摘要

一种图像传感器及其制造方法，该图像传感器可包括：光电二极管，形成在半导体衬底上方；层间电介质，可包括位于晶体管区中的多条金属线，可形成在半导体衬底上方，其包括波导电介质，用于在光电二极管区中引导入射光；折射层，可形成在层间电介质中的波导电介质的底部；滤色镜，可形成在层间电介质的上表面上方；覆盖膜，可形成在滤色镜上方；微透镜，可形成在层间电介质上方。由此，能在波导底部有效抑制高反射率，同时确保该波导针对非垂直入射光的反射率。

主权项

1、一种方法，包括如下步骤：在半导体衬底上方形成光电二极管；在上面具有所述光电二极管的所述半导体衬底上方形成层间电介质；在所述层间电介质的上部中形成用作波导的沟槽；在所述沟槽的底部表面上方形成折射层；形成波导电介质以填充所述沟槽；在所述波导电介质上方形成微透镜。