发明名称 系统芯片结构及其制作方法
摘要 一种系统芯片的半导体结构,包括一基底、一低压元件、一中压元件、至少一高压元件与多个隔离结构。基底具有低压电路区与高压电路区。低压元件与中压元件配置于低压电路区的基底上。高压元件配置于高压电路区的基底上。隔离结构配置于基底中,用以隔离低压元件、中压元件与高压元件。
申请公布号 CN100508193C 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200610094514.3 申请日期 2006.06.09
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 陈荣庆;董明宗
分类号 H01L27/04(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L21/76(2006.01)I 主分类号 H01L27/04(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯 宇
主权项 1、一种系统芯片的半导体结构,包括:基底,具有低压电路区与高压电路区;低压元件,配置于该低压电路区的该基底上,该低压元件的操作电压大于0V且小于3.3V;中压元件,配置于该低压电路区的该基底上,该中压元件的操作电压介于3.3V~20V之间;至少一高压元件,配置于该高压电路区的该基底上,该至少一高压元件的操作电压大于20V;以及多个隔离结构,配置于该基底中,用以隔离该低压元件、该中压元件与该至少一高压元件。
地址 中国台湾新竹科学工业园区