双桥式厚膜压力传感器

摘要

本实用新型属于力或应力的测量领域，尤其是一种应用压电电阻材料性质的双桥式厚膜压力传感器。包括基座，设置在基座上的感压膜片，设置在感压膜片上的可动感压膜片，及与可动感压膜片相连接的测量电路和处理电路，其特征是可动感压膜片为双桥电路结构，基座与感压膜片是一体式结构，双桥电路结构的可动感压膜片烧接在基座上的感压膜片上，双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片间设有烧接附层，双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片上设有绝缘保护层。此双桥式厚膜压力传感器耐高温、耐腐蚀性、灵敏度及温度和时间稳定性好，过载负荷大，工艺简单，使用方便，成本低，可用丝网印刷技术制造，适合工业大批量生产，可用于力或应力的测量。

主权项

1、一种双桥式厚膜压力传感器，包括基座，设置在基座上的感压膜片，设置在感压膜片上的可动感压膜片，及与可动感压膜片相连接的测量电路和处理电路，其特征是：可动感压膜片为双桥电路结构。