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发明名称 SILICON PRECURSORS AND METHOD FOR LOW TEMPERATURE CVD OF SILICON-CONTAINING FILMS
摘要
申请公布号 EP2074129(A1) 申请公布日期 2009.07.01
申请号 EP20070826611 申请日期 2007.10.01
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 WANG, ZIYUN;MISRA, ASHUTOSH;LAXMAN, RAVI
分类号 C07F7/08;C07F7/10;C23C16/00 主分类号 C07F7/08
代理机构 代理人
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