发明名称 | 曝光装置 | ||
摘要 | 一种曝光装置,其包括一紫外线光源,一位于该紫外线光源之下之输送带,该输送带系一输送路线为封闭曲线之曲线型输送带,该曲线型输送带可将被曝光物沿输送路线输送。该曝光装置可使操作员远离紫外线光源免受紫外线伤害且需较少操作员。 | ||
申请公布号 | TW200928597 | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
申请号 | TW096151208 | 申请日期 | 2007.12.31 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 陈汉邦 |
分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |