曝光装置及校正装置

摘要

一种曝光装置，建构成可藉使用来自一光源的光，将一原片的一图样曝光在一基底上。曝光装置具有一照明光学系统，建构成可使用来自该光源的片，利用偏振光来照射原片，及一校正单元，建构成可校正来自光源的光的光轴，及照明光学系统的光轴的失调准。校正单元具有第一透镜及一偏转构件，第一透镜可沿一与透镜的一光轴成垂直的方向移动，且由该偏转构件所偏转的光的一偏转方向系可变的。