一种水氧渗透率的测试方法及其测试设备

摘要

本发明涉及一种水氧渗透率的测试方法及其测试设备，旨在简化测试方法，降低测试设备的苛刻要求。本发明采用测量封装有活性金属层的两片不同样品的反射率随时间的变化，用公式B＝dR/dt∝(V_基板层+V_封装层)估算基片层或封装层的水氧渗透率。该测试设备由光源、偏振片、平板玻璃片、三个光电探测器、数据采集系统、计算机、二分之一分束片组成。本发明的测试方法及其测试设备可以测量各种物质的水氧渗透率。

主权项

1、一种水氧渗透率的测试方法，测量包括以下步骤：(一)样品的准备(1)在基板层的一侧制备一层活性金属层，厚度为30nm-500nm；(2)用封装层对基板层上的活性金属层进行封装；(3)选择另一种基板层或另一种封装层重复上述步骤(1)(2)的过程，再制作一块样品；上述三种层满足其中的两层的水氧渗透率是已知的，且样品至少一面是透明的；(二)样品表面反射率的测量在光学系统上同时测量其金属层的光学反射率随时间的变化；(三)封装层水氧渗透率的估算钙层的反射率的变化率有如下关系B＝dR/dt∝(V基板层+V封装层) (1)其中R为反射率，t为时间，V基板层为基板层的水氧渗透率，V封装层为封装层的水氧渗透率；因此得到两块样品的反射率随时间的变化可表示如下Ba＝dR/dt∝(V1+V2) (2)Bb＝dR/dt∝(V1+V3) (3)其中V1为基板层或封装层的水氧渗透率，V2为封装层或基板层的水氧渗透率，V3为待测的基板层或封装层的水氧渗透率，V1和V2的数值已知，(2)式和(3)式相除得到V3。