渐变反射率镜的镀膜装置及镀膜方法

摘要

一种用于在原有镀膜机真空室内的镀制渐变反射率镜的镀膜装置及镀膜方法。镀膜装置包括安装架、步进电机、基片夹具、挡板安装盘、挡板、定位组件、支撑组件和传动组件；该安装架把该装置安装在真空室内；该挡板根据变化厚度层的要求而设；该步进电机和该传动机构控制该基片夹具和挡板安装盘的转动；该定位组件对挡板的位置作定位。镀膜方法包括把基片放置于基片夹具内；把挡板放置于挡板安装盘内；步进电机控制基片夹具匀速旋转；步进电机和定位组件控制挡板安装盘的转动和停止，以此把挡板或圆孔至于基片下。镀制均匀厚度层时，把圆孔置于基片下；镀制变化厚度层时，把挡板置于基片下。本发明具有结构简单、紧凑、操作容易的特点，可以在同一基片上镀制均匀厚度层和变化厚度层，从而得到渐变反射率镜。

主权项

1、一种用于电子枪蒸发镀膜机的镀制渐变反射率镜的镀膜装置，包括安装架(11)，其特征在于：该安装架(11)与一水平基板(15)固定相连，在该基板(15)之上通过支撑杆(18)连接一水平电机安装板(6)，该电机安装板(6)上设有第一步进电机(9)和第二步进电机(14)，所述的第一步进电机(9)和第二步进电机(14)通过第一弹性联轴器(28)和第二弹性联轴器(27)分别与挡板安装盘旋转轴(16)和基片旋转轴(17)连接，所述的基片旋转轴(17)和挡板安装盘旋转轴(16)通过轴承分别安装在所述的基板(15)上，所述的基片旋转轴(17)和挡板安装盘旋转轴(16)的下端分别与夹具支架(7)和挡板安装盘(13)连接，所述的夹具支架(7)与供待镀膜的基片放置的基片夹具(12)连接，所述的挡板安装盘(13)设置了尺寸相同的第一圆孔(20)和第二圆孔(21)，第一圆孔(20)用于安装镀制变化厚度层的挡板(26)，第二圆孔(21)不安装挡板，所述的挡板安装盘(13)的边缘上还设置了第一小圆孔(22)和第二小圆孔(23)，所述的第一小圆孔(22)与第一圆孔(20)的圆心在该挡板安装盘(13)的同一直径上，第二小圆孔(23)的圆心和第二圆孔(21)的圆心在该挡板安装盘(13)的另一直径上，该两直径相互垂直；所述的基板(15)的下方的一侧固定一侧板(10)，所述的侧板(10)的内侧安装一光电开关支架(8)，所述的光电开关支架(8)上安装一凹槽式光电开关(19)，当所述的挡板安装盘(13)被第一步进电机(9)驱动旋转时，所述的第一小圆孔(22)或第二小圆孔(23)旋转至所述的光电开关(19)的凹槽时，所述的光电开关(19)将通过所述的第一小圆孔(22)或第二小圆孔(23)发出定位信号，使所述的挡板安装盘(13)定位不动；所述的镀制变化厚度层的挡板(26)的通孔具有特定的形状，由所镀制的渐变反射率镜的设计决定；所述的第二步进电机(14)和第一步进电机(9)通过真空室内的信号接口与室外的步进电机驱动器(24)连接，该步进电机驱动器(24)与控制器(25)相连，所述的光电开关(19)与控制器(25)相连接。