发明名称 用于元件之晶圆等级整合的系统与设备
摘要 于一半导体封装中,一基板具有一含有复数个主动电路的主动表面。一黏着层会被形成在该基板的该主动表面上方,而一已知良好单元(KGU)会被安置于该黏着层。一互连结构会电连接该KGU与该基板上的主动电路。该互连结构包含:一位于该基板上的一接触触点与该KGU上的一接触触点之间的焊线;一位于该基板中与该主动表面反向的背表面之上的重分布层;一直通孔通道(THV),其会贯穿该基板,用以电连接该重分布层与焊线;以及焊接凸块,它们会被形成用以与该重分布层电性接触。该KGU包含:一KGU基板,用以支撑该KGU;一半导体晶粒,其会被设置在该KGU基板上方;以及一囊封剂,其会被形成在该半导体晶粒上方。
申请公布号 TW200929405 申请公布日期 2009.07.01
申请号 TW097138367 申请日期 2008.10.06
申请人 史达晶片有限公司 发明人 仕沐德R 卡马洲;汉芮 迪斯卡洛 贝森;郑建伟;迪欧斯可洛A 马力罗
分类号 H01L21/60(2006.01);H01L23/48(2006.01);H01L23/28(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒;阎启泰
主权项
地址 新加坡