| 摘要 |
为了提供一种形状测定装置，在对圆盘状的测定对象物的端面形状根据其投影像来进行测定的情况，可让投射至测定对象物的光束尽量不包含非平行光成分，且确保投光方向与测定对象物的表里各面之间的平行状态而进行正确的形状测定。具备：让点光源(2)的出射光通过并在投光方向(R1)进行准直化之准直透镜(3)、以及1个或复数个遮罩(8)。该遮罩(8)，是在从准直透镜(3)朝向测定对象物(1)侧的光束当中，将从投光方向(R1)观察位于摄影机的摄影范围的外侧范围的光，或是位于该摄影范围的内侧且位在投光方向(R1)上的测定部的投影像的外侧范围之边界线的外侧范围的光通过予以遮断。另外具备：在相对于被吸附支承机构(9)所支承之测定对象物(1)之测定部的侧的位置，将测定对象物(1)的其中一面支承成与投光方向(R1)平行之平行支承部(21)。 |
