| 摘要 |
本发明提供一种雷射加工装置，系可在将一道雷射光分光成为复数道并使之同时照射于被加工物上而进行加工者，其使分光出来的各雷射光在被加工物上的照射区域的大小都相等。此雷射加工装置具有备有：配置在分光出来的复数道雷射光中的雷射光Lα的光路上，使雷射光Lα在被加工物12上的光束直径变化之焦点差修正镜25a；以及以使焦点差修正镜25a的子午方向(meridional direction)的成像位置及弧矢方向(sagittal direction)的成像位置不变化的方式使焦点差修正镜25a的反射面的子午方向及弧矢方向的曲率变化之焦点差修正镜控制机能52。 |
