| 摘要 |
本发明有关一种感光性化合物，为一尺寸比传统光阻用聚合物分子更小之阻剂，其能够形成一奈米-组件；以及一种含有该化合物的光阻组合物。此感光性化合物由下列化学式表示。且，本发明提供一光阻组合物，包含1至85 wt％(重量％)之感光性化合物；相对于100份重量份之感光性化合物而言，0.05至15份重量份之光-酸产生剂；及相对于100份重量份之感光性化合物而言，50至5000份重量份之有机溶剂。#P 097143889P01.bmp在式1中，n为异丙氧基(-CH(CH#sB!3#eB!)CH#sB!2#eB!O-)单体的重复数目且是一介于1至40间的整数，且R为具有1至20碳原子的烷基或3至20碳原子的环烷基。 |
