| 主权项 |
1.一种光罩容器，其具有一供摆置光罩的存放空间，该光罩容器包含有：一底座，其上设有一供承托光罩之支撑单元，支撑结构包含有围绕形成“ㄇ”形支撑体的两撑托元件与一抵靠元件，而撑托元件可支持于光罩下表面、且限制光罩两侧边缘，又抵靠元件可供光罩背缘贴靠；一壳罩，其可相对底座盖合形成光罩存放空间，该壳罩内面设有一供对应限制光罩之自我定位结构，自我定位结构具有一基座，基座上设有复数对应光罩表面周缘的压掣元件，压掣元件系于基座上形成有一透孔，且压掣元件并于透孔内利用两侧弹性悬臂悬设有一供压掣光罩的压抵件，以利用压抵件压掣光罩使其定位于光罩容器的存放空间内。2.依申请专利范围第1项所述之光罩容器，其中该撑托元件顶面设有复数可减少光罩接触面积的角锥状承托块，又两撑托元件于相异的外侧分别形成有复数侧片，且侧片内侧面并形成有对应光罩边缘的侧抵件，再者抵靠元件具有至少一供光罩背缘贴靠的背靠片。3.依申请专利范围第2项所述之光罩容器，其中该承托块及侧抵件可与撑托元件呈分离式结构，且承托块与侧抵件进一步可选自耐磨性、高硬度之聚醚醚酮【PEEK】等材质所制成。4.依申请专利范围第1项所述之光罩容器，其中该壳罩顶面利用锁固件锁设有一把手，且锁固件穿出壳罩的一端可供同步锁掣该自我定位结构的基座，基座顶面埋设对应的螺柱。5.依申请专利范围第1项所述之光罩容器，其中该压掣元件之压抵件并具有一呈倒锥状的凸压锥块，以减少与光罩的接触面积。6.依申请专利范围第5项所述之光罩容器，其中该压抵件之凸压锥块系选自耐磨性、高硬度之聚醚醚酮【PEEK】等材质所制成。7.依申请专利范围第1项所述之光罩容器，其中该压掣元件之弹性悬臂系呈弧弯状的波浪体，其可大幅增加压抵件的允许变形量。8.依申请专利范围第1项所述之光罩容器，其中该基座异于底座抵靠元件的一侧边设有对应光罩边缘的复数导正元件，且导正元件系由基座向下延伸的弧弯状导正弧片所构成，供逐步推动光罩贴靠抵靠元件归位。9.依申请专利范围第8项所述之光罩容器，其中该基座在异于底座抵靠元件的边缘相邻两侧边缘并分设有对应光罩边缘的复数导正元件，且导正元件系由基座向下延伸的弧弯状导正弧片所构成，供相对逐步夹掣光罩限位。10.依申请专利范围第8或9项所述之光罩容器，其中该导正弧片对应光罩的侧面并具有一道由上而下延伸的弧压缘，且弧压缘系选自耐磨性、高硬度之聚醚醚酮【PEEK】等材质所制成。11.一种自我定位结构，其系用于限制光罩的位置移动与光罩的导正归位；该自我定位结构具有一基座，基座上设有复数对应光罩表面周缘的压掣元件，压掣元件系于基座上形成有一透孔，且压掣元件并于透孔内利用两侧弹性悬臂悬设有一供压掣光罩的压抵件，以利用压抵件压掣光罩使其定位于光罩容器的存放空间内。12.依申请专利范围第11项所述之自我定位结构，其中该压掣元件之压抵件并具有一呈倒锥状的凸压锥块，以减少与光罩的接触面积。13.依申请专利范围第12项所述之自我定位结构，其中该压抵件之凸压锥块系选自耐磨性、高硬度之聚醚醚酮【PEEK】等材质所制成。14.依申请专利范围第11项所述之自我定位结构，其中该压掣元件之弹性悬臂系呈弧弯状的波浪体，其可大幅增加压抵件的允许变形量。15.依申请专利范围第11项所述之自我定位结构，其中该基座至少一侧边设有对应光罩边缘的复数导正元件，且导正元件系由基座向下延伸的弧弯状导正弧片所构成，供逐步推动调整光罩归位。16.依申请专利范围第15项所述之自我定位结构，其中该导正弧片对应光罩的侧面具有一道由上而下延伸的弧压缘，弧压缘系选自耐磨性、高硬度之聚醚醚酮【PEEK】等材质所制成。图式简单说明：第一图为本创作之光罩容器的外观示意图，其说明各组件的态样及其相对关系。第二图为本创作之光罩容器自我定位结构装置的外观示意图。第三图为本创作之光罩容器于盖合前的剖面示意图。第四图为本创作之光罩容器于盖合过程中推移光罩的动作示意图。第五图为本创作之光罩容器于盖合过程中压掣光罩的动作示意图。第六图为本创作之光罩容器于盖合后的剖面示意图。 |
