发明名称 高压水喷射洗净装置
摘要 使高压水喷射洗净装置容易因应制造线所要求之精度、可进行均等之洗净、并可简化构造、降低成本、减少洗净时装置之振动。于使洗净对象物相对于洗净装置本体以一定速度移动,并使高压水从前述洗净装置本体之高压水喷射嘴一起对前述洗净对象物喷射以洗净之装置,于具有大于横越前述洗净对象物之长度之长度之支撑架6之一面使复数高压水喷射嘴7a朝向前述洗净对象物且彼此隔间隔排列,将前述支撑架6之两端延长部11分别支撑为可透过正交于该延长面之驱动轴15偏心旋转,并藉由以驱动装置17使前述驱动轴15旋转以使前述支撑架6偏心旋转,使高压水从绕圈运动之各高压水喷射嘴7a一起喷射。
申请公布号 TW200927309 申请公布日期 2009.07.01
申请号 TW097132341 申请日期 2008.08.25
申请人 川崎成套设备股份有限公司 发明人 久下守正;田京史;纳富英二;田中秀幸;野村充
分类号 B08B3/02(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B08B3/02(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒;阎启泰
主权项
地址 日本