双模石英晶体微天平之量测系统

摘要

一种双模石英晶体微天平之量测系统，此量测系统包括石英感测元件、第一量测电路、第二量测电路以及切换单元。当切换单元选择第一量测电路时，第一量测电路会与石英感测元件形成一振荡电路并输出一谐振信号；当换单元选择第二量测电路时，第二量测电路输出一频率扫描信号以扫描石英感测元件，以输出一阻抗感测信号。