基板接收装置及基板接收方法

摘要

[课题]提供可以谋求基板处理系统之小型化的基板接收装置。[解决手段]基板处理系统（1）所具备之略箱状之匣盒模组（2）系间接性被连接于对晶圆（W）施予处理之制程模组（5），具备：被配置在顶棚部，并且连接用以收容保持复数晶圆（W）之匣盒（8）之容器（3）的孔口（9）；和控制匣盒模组（2）之内部空间及被连接于孔口（9）之容器（3）之内部之连通，使该内部空间与容器（3）之内部隔绝之门阀（10）；和自容器（3）取出匣盒（8），经由孔口（9）搬入至上述内部空间之载置体（11）；和控制与容器（3）内部隔绝之内部空间之压力而执行该内部空间之大气与真空的切换的气体导入口（18）及排气口（19）。