电泳研磨抛光装置及电泳研磨抛光方法

摘要

一种电泳研磨抛光装置及电泳研磨抛光方法，该电泳研磨抛光装置包含一槽体、一伸入该槽体内的旋转研磨单元、一升降单元及一电源供应器。该升降单元包括一升降组合体，及一设置于该升降组合体上并位于该槽体内的电极，该电源供应器供电给该电极与该旋转研磨单元。当该升降组合体朝向一增电限制位置移动时，该电极邻近该研磨座；当朝向一减电限制位置移动时，该电极远离该研磨座。藉电泳研磨液内之研磨粒沈积于该旋转研磨单元上，藉以研磨抛光金属薄板，使得易量产、并减少热效应，藉由改变该电极的位置以控制的沈积速度来提升抛光品质。