相位移光罩及其形成图案之方法

摘要

兹揭示一种相位移光罩以及使用此相位移光罩形成图案之方法。此相位移光罩包含玻璃基板与位于玻璃基板表面之图案、第一相位移区、第二相位移区以及第三相位移区。第一相位移区与第二相位移区彼此平行交互排列且第三相位移区位于第一相位移区之末端。