发明名称 制作流程机台侦错方法与侦错系统
摘要 本发明公开了一种制作流程机台的侦错方法与侦错系统,用以检测制作过程中造成产品发生不合格的机台,此一侦错方法包括下述步骤:首先获取每一个产品的最终测量数据,接着,根据每一个产品的制作过程路径,将这些产品的最终测量数据,依照每一个产品通过这些机台的时间先后顺序加以排列,借以赋予每一机台一组测量数据序列,再依据每一些机台的制作过程属性进行群集分析,借以输出一个群集分析参数并排序,对群集中的每一机台的测量数据序列进行连续性分析,借以输出一个连续性分析参数,并进行排序,之后根据排序决定出有可能造成产品不合格的机台。
申请公布号 CN101470422A 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200710160690.7 申请日期 2007.12.29
申请人 创点科技股份有限公司 发明人 曾新穆;林威成
分类号 G05B19/048(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 G05B19/048(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 梁 挥;祁建国
主权项 1、一种制作流程机台的侦错方法,用以检测制作流程中造成数个产品发生不良的至少一机台,其特征在于,该制作流程侦错方法包括:获取每一该产品的最终测量数据;根据每一该产品的制作流程路径,将该产品的最终测量数据,依照通过该机台的时间先后顺序加以排列,借以赋予每一该机台一测量数据序列;根据每一该机台的制作流程属性进行一群集分析,将该测量数据序列区分成数个群集,并对每一该群集输出一群集参数;根据该群集参数进行一第一排序;对每一该群集中的每一该机台的该测量数据序列,进行一连续性分析,借以对该群集中的每一该机台输出一连续性分析参数;以及再依据该连续性分析参数对每一该群集中的该机台进行一第二排序,根据该机台的一排序结果决定出最有可能造成该产品不合格的该机台。
地址 台湾省高雄市新兴区民生一路56号24楼之7
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