免移除掺杂材料之太阳能电池之制造方法及使用该方法形成之太阳能电池

摘要

一种免移除掺杂材料之太阳能电池之制造方法，包含以下步骤：提供一基板；藉由化学气相沈积而于基板上沈积一掺杂材料层；及烘烤基板及掺杂材料层，以于基板中形成一掺杂区，同时于基板上形成一抗反射涂层。