硬碟基板用研磨液组合物

摘要

本发明提供一种硬碟基板用研磨液组合物，其含有氧化铝粒子、二氧化矽粒子以及水，且上述氧化铝粒子之二次粒子藉由雷射光绕射法所测定的体积中值粒径为0.1~0.8 μm，上述二氧化矽粒子之一次粒子藉由穿透式电子显微镜观察所测定的体积中值粒径为40~150 nm，上述二氧化矽粒子之一次粒子藉由穿透式电子显微镜观察所测定的以个数为基准之粒径标准偏差为11~35 nm。上述硬碟基板用研磨液组合物较好的是可于不损及生产性之情况下减少氧化铝研磨粒刺入基板。