圆筒型溅镀靶

摘要

本发明提供一种溅镀中能够明显降低龟裂的圆筒型溅镀靶。该圆筒型溅镀靶，其ITO或AZO形成的圆筒型靶材的相对密度为90％以上，外围面的研削方向和圆筒轴平行直线所形成的角度（上述角度当中，0°以上且90°以下的角度以θ表示）为45°＜θ≦90°或tanθ＞πR/L（R为圆筒型靶材的外径，L为圆筒型靶材的长度），并且，上述圆筒型靶材的外围面表面粗糙度Ra为3μm以下。