热处理装置、热处理方法及记忆媒体

摘要

本发明旨在提供一种技术，当冷却系用以加热基板之加热板之面板时，即使在冷却气体流量少之情形下亦可在短时间内冷却该面板。其中，于面板下侧设有在内周侧形成有气体排出口之整流板。且在该面板与整流板之间设有与该整流板大致同径之管状降温吹扫环，于该降温吹扫环内周侧形成有多数气体喷吐孔。又，使该面板下端面与降温吹扫环上端面之间之间隙狭窄。一旦使冷却气体自该降温吹扫环朝内侧流通，面板下端面与降温吹扫环上端面之间之区域即成为负压，大气沿冷却气体之移动过程自外部大量流入面板与整流板之间，迅速冷却该面板。