发明名称 |
图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括:位于半导体衬底上的栅极,位于所述栅极下的第一和第二p型掺杂区域,邻近所述第一p型掺杂区域的第三p型掺杂区域,以及邻近所述第三p型掺杂区域的第四p型掺杂区域。在所述半导体衬底中设置n型掺杂区域,以使至少部分所述n型掺杂区域布置在所述第一、第三以及第四p型掺杂区域之下。邻近所述第二p型掺杂区域设置浮置扩散区。利用本发明,可阻止沟道区的电子向光电二极管回流,从而能够降低噪音以及减少图像延迟。 |
申请公布号 |
CN101471360A |
申请公布日期 |
2009.07.01 |
申请号 |
CN200810185920.X |
申请日期 |
2008.12.16 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
金钟玟 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郑小军;冯志云 |
主权项 |
1. 一种图像传感器,包括:栅极,位于半导体衬底上;第一p型掺杂区域,位于所述栅极下;第二p型掺杂区域,位于所述栅极下并且邻近所述第一p型掺杂区域;第三p型掺杂区域,邻近所述第一p型掺杂区域并且位于所述第二p型掺杂区域的相对侧;第四p型掺杂区域,邻近所述第三p型掺杂区域;n型掺杂区域,布置在所述半导体衬底中,使得至少部分所述n型掺杂区域位于所述第一p型掺杂区域、第三p型掺杂区域和第四p型掺杂区域之下;以及浮置扩散区,位于所述栅极的一侧,并且与所述第二p型掺杂区域相接触。 |
地址 |
韩国首尔 |