发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 本发明提供一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括:位于半导体衬底上的栅极,位于所述栅极下的第一和第二p型掺杂区域,邻近所述第一p型掺杂区域的第三p型掺杂区域,以及邻近所述第三p型掺杂区域的第四p型掺杂区域。在所述半导体衬底中设置n型掺杂区域,以使至少部分所述n型掺杂区域布置在所述第一、第三以及第四p型掺杂区域之下。邻近所述第二p型掺杂区域设置浮置扩散区。利用本发明,可阻止沟道区的电子向光电二极管回流,从而能够降低噪音以及减少图像延迟。
申请公布号 CN101471360A 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200810185920.X 申请日期 2008.12.16
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 金钟玟
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 郑小军;冯志云
主权项 1. 一种图像传感器,包括:栅极,位于半导体衬底上;第一p型掺杂区域,位于所述栅极下;第二p型掺杂区域,位于所述栅极下并且邻近所述第一p型掺杂区域;第三p型掺杂区域,邻近所述第一p型掺杂区域并且位于所述第二p型掺杂区域的相对侧;第四p型掺杂区域,邻近所述第三p型掺杂区域;n型掺杂区域,布置在所述半导体衬底中,使得至少部分所述n型掺杂区域位于所述第一p型掺杂区域、第三p型掺杂区域和第四p型掺杂区域之下;以及浮置扩散区,位于所述栅极的一侧,并且与所述第二p型掺杂区域相接触。
地址 韩国首尔