表面检查设备

摘要

一种表面检查设备，具有：照明装置，用于通过线偏振来照明形成在待检查对象的表面上的重复图案；设定装置，用于将由线偏振的入射面的表面上的方向和重复图案的重复方向形成的角度设定成零以外的指定值；提取装置，用于从沿镜面方向从重复图案产生的光中提取垂直于线偏振的振动面的偏振分量；受光装置，用于接受由提取装置提取的光并输出镜面反射光的光强；以及检测装置，用于基于从受光装置输出的镜面反射光的光强来检测重复图案的缺陷。设定装置设定由线偏振的入射面的表面上的方向和重复图案的重复方向形成的角度，使得来自表面上的正常部分的光的强度与来自表面上的缺陷部分的光的光强之间的差为最大值。

主权项

1. 一种表面检查设备，包括：照明装置，用于利用线偏振光来照明形成在样本的表面中的重复图案；设定装置，用于将角度设定成0以外的预定值，所述角度形成在所述线偏振光的入射面的所述表面中的方向与所述重复图案的重复方向之间；提取装置，用于从沿镜面反射方向从所述重复图案产生的光中提取垂直于所述线偏振光的振动面的偏振分量；受光装置，用于接受由所述提取装置提取的光并输出镜面反射光的光强；以及检测装置，用于基于从所述受光装置输出的所述镜面反射光的光强来检测所述重复图案的缺陷，其中，所述设定装置设定形成在所述线偏振光的入射面的所述表面中的方向与所述重复图案的重复方向之间的角度，使得来自所述表面的正常部分的光强与来自所述表面的缺陷部分的光强之间的对比度变为最大值。