| 摘要 |
一种在周围空气中于一静电夹盘上夹取/释放一半导体晶圆之方法包含以一预定距离将该半导体晶圆配置在该静电夹盘之一介电表面上方，该静电夹盘具有一或多个电极，并施加一大于一预定阀值之第一电压至该静电夹盘之该一或多个电极达一第一时间周期。该方法包含在该第一时间周期后降低该第一电压至一第二电压，其实质上等于该半导体晶圆之一自偏压电位。该方法包含保持该第二电压达一第二时间周期，并调整该第二电压至一第三电压，其特征在于与该第一电压相反之一极性及小于该预定阀值之一强度。该方法包含在一第三时间周期后将该第三电压降低至一第四电压，其实质上等于该第二电压。 |
