光学检测仪器和方法

摘要

本发明涉及一种光学检测仪器和方法，该光学检测仪器是一种小视场光学检测仪器，可用以检测一表面上几微米的三维特征，该光学检测仪器包括产生一投射光路的光学投射装置、位于投射光路中改变该投射光并使其成为结构光的光栅装置、将所述结构光投射到所述表面上移动一定距离的相移装置、观察器以及计算机。观察器包括具有与该投射光路不平行的接收光路的光学接收系统和位于该接收光路中的相机，该相机用于观察并记录所述图像。计算机包括与相机之间的数据传输和基于反射图像所提供的表面轮廓信息进行轮廓测量建模的处理器。

主权项

1. 一种小视场光学检测仪器，用以检测一表面上微小的三维特征，该光学检测仪器包括：光学投射装置，包括光源和沿着投射光路引导来自该光源的投射光的投射光学系统；光栅装置，位于该投射光路中，用于改变该投射光的空间光强分布成为结构光；将所述结构光投射到被测表面上并使其移动一定距离的相移装置；观察器，包括具有与该投射光路不平行的接收光路的光学接收系统和位于该接收光路中的相机，所述相机用于观察并记录所述图像；以及计算机，包括与相机的数据输入和用于基于反射图像所提供的表面轮廓信息为进行轮廓测量的建模的处理器。